Ionenimplantation und Plasmaätzen

Die Graphitprodukte von SIAMC werden aufgrund ihrer hervorragenden Hitzebeständigkeit, Wärmeleitfähigkeit, ihres geringen Verunreinigungsgehalts und ihrer Korrosionsbeständigkeit durch Ionenstrahlen häufig in Ionenimplantations- und Plasmaätzgeräten eingesetzt.

Bei der Ionenimplantation wird hochreiner Graphit in Flugrohren, verschiedenen Schlitzen, Elektroden, Elektrodenabdeckungen, Leitungen und Strahlabschlüssen verwendet.Diese Komponenten müssen gegen die durch Ionenstrahlen verursachte Korrosion beständig sein.

Beim Plasmaätzen werden die Komponenten der Plasmareaktionskammer dem Ätzgas ausgesetzt, was zu Verunreinigungen und Korrosion führen kann.Graphit ist jedoch unter extremen Arbeitsbedingungen wie Ionenbeschuss oder Plasma korrosionsbeständig, was es zu einem idealen Material für Komponenten von Plasmaätzgeräten wie Graphitelektroden macht.

Die hochwertigen Graphitprodukte von SIAMC bieten hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit für Ionenimplantations- und Plasmaätzgeräte und gewährleisten so die Qualität und Effizienz der Halbleiterverarbeitung.